Sensor de presión del motor 2CP3-68 1946725 para excavadora Carter

Un método para preparar un sensor de presión, caracterizado por comprender los siguientes pasos:

S1, que proporciona una oblea con una superficie posterior y una superficie frontal;Formar una tira piezoresistiva y un área de contacto fuertemente dopada en la superficie frontal de la oblea;formar una cavidad profunda a presión grabando la superficie posterior de la oblea;

S2, unir una lámina de soporte en la parte posterior de la oblea;

S3, fabricando orificios para conductores y cables metálicos en la parte frontal de la oblea y conectando tiras piezoresistivas para formar un puente de Wheatstone;

S4, depositando y formando una capa de pasivación sobre la superficie frontal de la oblea, y abriendo parte de la capa de pasivación para formar un área de almohadilla metálica.2. El método de fabricación del sensor de presión según la reivindicación 1, en el que S1 comprende específicamente los siguientes pasos: S11: proporcionar una oblea con una superficie posterior y una superficie frontal, y definir el espesor de una película sensible a la presión sobre la oblea;S12: se utiliza implantación de iones en la superficie frontal de la oblea, las tiras piezoresistivas se fabrican mediante un proceso de difusión a alta temperatura y las regiones de contacto están fuertemente dopadas;S13: depositar y formar una capa protectora sobre la superficie frontal de la oblea;S14: grabar y formar una cavidad profunda a presión en la parte posterior de la oblea para formar una película sensible a la presión.3. El método de fabricación del sensor de presión según la reivindicación 1, en el que la oblea es SOI.

En 1962, Tufte et al.fabricó por primera vez un sensor de presión piezoresistivo con tiras piezoresistivas de silicio difuso y estructura de película de silicio, y comenzó la investigación sobre un sensor de presión piezoresistivo.A finales de la década de 1960 y principios de la de 1970, la aparición de tres tecnologías, a saber, la tecnología de grabado anisotrópico de silicio, la tecnología de implantación de iones y la tecnología de unión anódica, trajeron grandes cambios al sensor de presión, que desempeñaron un papel importante en la mejora del rendimiento del sensor de presión. .Desde la década de 1980, con el mayor desarrollo de la tecnología de micromecanizado, como el grabado anisotrópico, la litografía, el dopaje por difusión, la implantación de iones, la unión y el recubrimiento, el tamaño del sensor de presión se ha reducido continuamente, se ha mejorado la sensibilidad y la salida es alta y el rendimiento es excelente.Al mismo tiempo, el desarrollo y la aplicación de nueva tecnología de micromecanizado permiten controlar con precisión el espesor de la película del sensor de presión.