Aplicable al sensor de presión common rail de combustible Passat 06E906051K

1. Un método para formar un sensor de presión, que comprende:

Proporcionar un sustrato semiconductor, en el que se forman una primera capa dieléctrica intermedia, una primera capa dieléctrica intermedia y una segunda capa dieléctrica intermedia sobre el sustrato semiconductor.

Una placa de electrodo inferior en la primera capa dieléctrica intermedia, un primer electrodo mutuo ubicado en la misma capa que la placa de electrodo inferior y espaciado.

Conexión de capas;

Formar una capa de sacrificio sobre la placa polar inferior;

formar una placa de electrodo superior sobre la primera capa dieléctrica intermedia, la primera capa de interconexión y la capa de sacrificio;

Después de formar la capa de sacrificio y antes de formar la placa superior, en la primera capa de interconexión

formar una ranura de conexión y llenar la ranura de conexión con la placa superior para conectar eléctricamente con la primera capa de interconexión; O,

Después de formar la placa de electrodo superior, se forman ranuras de conexión en la placa de electrodo superior y la primera capa de interconexión, que

formar una capa conductora que conecta la placa de electrodo superior y la primera capa de interconexión en la ranura de conexión;

Después de conectar eléctricamente la placa superior y la primera capa de interconexión, se retira la capa de sacrificio para formar una cavidad.

2. El método para formar un sensor de presión según la reivindicación 1, en el que en la primera capa

El método para formar la capa de sacrificio sobre la capa dieléctrica intermedia comprende los siguientes pasos:

depositar una capa de material de sacrificio sobre la primera capa dieléctrica intermedia;

Modelar la capa de material de sacrificio para formar una capa de sacrificio.

3. El método para formar el sensor de presión según la reivindicación 2, en el que se utilizan fotolitografía y grabado.

La capa de material de sacrificio se modela mediante un proceso de grabado.

4. El método para formar un sensor de presión según la reivindicación 3, en el que la capa de sacrificio

El material es carbono amorfo o germanio.

5. El método para formar un sensor de presión según la reivindicación 4, en el que la capa de sacrificio

El material es carbono amorfo;

Los gases de grabado utilizados en el proceso de grabado de la capa de material de sacrificio incluyen O2, CO, N2 y Ar;

Los parámetros en el proceso de grabado de la capa de material de sacrificio son: el rango de flujo de O2 es 18 SCCM ~ 22 SCCM y el caudal de CO es 10%.

El caudal varía de 90 SCCM a 110 SCCM, el caudal de N2 varía de 90 SCCM a 110 SCCM y el caudal de Ar.

El rango es 90 SCCM ~ 110 SCCM, el rango de presión es 90 mtor ~ 110 mtor y la potencia de polarización es

540w ~ 660w。