Aplicable a Passat Combustible Sensor de presión del ferrocarril común 06E906051K

1. Un método para formar un sensor de presión, que comprende:

Proporcionando un sustrato semiconductor, en el que se forman una primera capa dieléctrica entre capas, una primera capa dieléctrica entre capas y una segunda capa dieléctrica entre capas en el sustrato semiconductor.

Una placa de electrodo inferior en la primera capa dieléctrica entre capas, un primer electrodo mutuo ubicado en la misma capa que la placa de electrodo inferior y separada.

Conectando capas;

Formando una capa de sacrificio sobre la placa polar inferior;

Formando una placa de electrodo superior en la primera capa dieléctrica entre capas, la primera capa de interconexión y la capa de sacrificio;

Después de formar la capa de sacrificio y antes de formar la placa superior, en la primera capa de interconexión

Formando un surco de conexión y llenando la ranura de conexión con la placa superior para conectarse eléctricamente con la primera capa de interconexión; O,

Después de formar la placa de electrodo superior, las ranuras de conexión se forman en la placa de electrodo superior y la primera capa de interconexión, que

Formando una capa conductora que conecta la placa de electrodo superior y la primera capa de interconexión en la ranura de conexión;

Después de conectar eléctricamente la placa superior y la primera capa de interconexión, eliminando la capa de sacrificio para formar una cavidad.

2. El método para formar un sensor de presión según la reivindicación 1, en el que en la primera capa

El método para formar la capa de sacrificio en la capa dieléctrica entre capas comprende los siguientes pasos:

Depositando una capa de material de sacrificio en la primera capa dieléctrica entre capas;

Patrón de la capa de material de sacrificio para formar una capa de sacrificio.

3. El método para formar el sensor de presión según la afirmación 2, en el que se utilizan fotolitografía y grabado.

La capa de material de sacrificio está modelado por el proceso de grabado.

4. El método para formar un sensor de presión según la reivindicación 3, en el que la capa de sacrificio

El material es de carbono amorfo o germanio.

5. El método para formar un sensor de presión según la reivindicación 4, en el que la capa de sacrificio

El material es de carbono amorfo;

Los gases de grabado utilizados en el proceso de grabado de la capa de material de sacrificio incluyen O2, CO, N2 y AR;

Los parámetros en el proceso de grabado de la capa de material de sacrificio son: el rango de flujo de O2 es 18 SCCM ~ 22 SCCM, y la velocidad de flujo de CO es del 10%.

La velocidad de flujo varía de 90 SCCM a 110 SCCM, la velocidad de flujo de N2 varía de 90 SCCM a 110 SCCM, y la velocidad de flujo de AR.

El rango es de 90 sccm ~ 110 sccm, el rango de presión es de 90 mTOR ~ 110 mTOR y la potencia de sesgo es

540W ～ 660W。