El sensor de presión semiconductora de uso común utiliza oblea de silicio de tipo N como sustrato. En primer lugar, la oblea de silicio se convierte en una parte elástica de tensión con una cierta geometría. En la parte que soporta el estrés de la oblea de silicio, cuatro resistencias de difusión de tipo P se realizan a lo largo de diferentes direcciones de cristal, y luego se forma un puente de piedra de trigo de cuatro brazos con estas cuatro resistencias. Bajo la acción de la fuerza externa, los cambios de los valores de resistencia se convierten en señales eléctricas. Este puente de piedra de trigo con efecto de presión es el corazón del sensor de presión, que generalmente se llama puente piezoresistivo (como se muestra en la Figura 1). Las características del puente piezoresistivo son las siguientes: ① Los valores de resistencia de los cuatro brazos del puente son iguales (todos R0); ② El efecto piezoresistivo de los brazos adyacentes del puente es igual en valor y opuesto en signo; ③ El coeficiente de temperatura de resistencia de los cuatro brazos del puente es el mismo, y siempre están a la misma temperatura. En la fig. 1, R0 es el valor de resistencia sin estrés a temperatura ambiente; RT es el cambio causado por el coeficiente de temperatura de resistencia (α) cuando la temperatura cambia; Υ rδ es el cambio de resistencia causado por la tensión (ε); El voltaje de salida del puente es u = i0 Δ rδ = i0rgδ (puente de origen de corriente constante).

Donde i0 es corriente de corriente constante de corriente y E es un voltaje de fuente de voltaje constante. El voltaje de salida del puente piezoresistivo es directamente proporcional a la tensión (ε) y no tiene nada que ver con la RT causada por el coeficiente de resistencia de temperatura, lo que reduce en gran medida la deriva de temperatura del sensor. El sensor de presión semiconductora más utilizado es un sensor para detectar la presión de líquido. Su estructura principal es una cápsula hecha de silicio monocristalino (como se muestra en la Figura 2). El diafragma se convierte en una taza, y la parte inferior de la copa es la parte que lleva la fuerza externa, y el puente de presión se hace en la parte inferior de la copa. El pedestal del anillo está hecho del mismo material de cristal único de silicio, y luego el diafragma se une al pedestal. Este tipo de sensor de presión tiene las ventajas de alta sensibilidad, pequeño volumen y solidez, y se ha utilizado ampliamente en aviación, navegación espacial, instrumentos de automatización e instrumentos médicos.