El sensor de presión semiconductor de uso común utiliza una oblea de silicio tipo N como sustrato.En primer lugar, la oblea de silicio se convierte en una pieza elástica que soporta tensiones con una determinada geometría.En la parte de la oblea de silicio que soporta tensiones, se fabrican cuatro resistencias de difusión tipo P a lo largo de diferentes direcciones del cristal, y luego se forma un puente de Wheatstone de cuatro brazos con estas cuatro resistencias.Bajo la acción de una fuerza externa, los cambios en los valores de resistencia se convierten en señales eléctricas.Este puente de Wheatstone con efecto de presión es el corazón del sensor de presión, que suele denominarse puente piezoresistivo (como se muestra en la Figura 1).Las características del puente piezoresistivo son las siguientes: ① los valores de resistencia de los cuatro brazos del puente son iguales (todos r0);② El efecto piezoresistivo de los brazos adyacentes del puente es igual en valor y de signo opuesto;③ El coeficiente de temperatura de resistencia de los cuatro brazos del puente es el mismo y siempre están a la misma temperatura.En la Fig.1, R0 es el valor de resistencia sin tensión a temperatura ambiente;RT es el cambio causado por el coeficiente de temperatura de resistencia (α) cuando cambia la temperatura;Υ Rδ es el cambio de resistencia causado por la tensión (ε);El voltaje de salida del puente es u=I0 Δ Rδ=I0RGδ (puente de fuente de corriente constante).

Donde I0 es la corriente de la fuente de corriente constante y e es la tensión de la fuente de voltaje constante.El voltaje de salida del puente piezorresistivo es directamente proporcional a la deformación (ε) y no tiene nada que ver con la RT causada por el coeficiente de temperatura de resistencia, lo que reduce en gran medida la deriva de temperatura del sensor.El sensor de presión semiconductor más utilizado es un sensor para detectar la presión del fluido.Su estructura principal es una cápsula hecha de silicio monocristalino (como se muestra en la Figura 2).El diafragma se convierte en una copa, y el fondo de la copa es la parte que soporta la fuerza externa, y el puente de presión se hace en el fondo de la copa.El pedestal del anillo está hecho del mismo material monocristalino de silicio y luego el diafragma se une al pedestal.Este tipo de sensor de presión tiene las ventajas de alta sensibilidad, pequeño volumen y solidez, y ha sido ampliamente utilizado en aviación, navegación espacial, instrumentos de automatización e instrumentos médicos.